[특허] 제조 장비의 자동화를 위한 제어관리 시스템

◆ 출원일 : 2020.04.07

◆ 등록일 : 2020.06.24

◆ 등록번호 : 10-2128697

요약 : 본 발명에 따르면, 반도체 제조를 컨트롤하기 위한 제어관리 시스템에 있어서, SECS(Semi Equipment Communication Standard) 메시지를 구성하기 위한 SECS Driver, 상기 구성된 SECS 메시지를 이용하여 Host와 통신을 수행하는 HSMS(High-Speed SECS Message Services) Driver, 상기 반도체 제조에 이용되는 반도체 장비와 관련된 데이터를 나타내는 복수의 ID를 관리하는ID Driver 및 상기 SECS Driver, 상기 HSMS Driver 및 상기 ID Driver와 통신을 수행하고, SECS 통신 로그, HSMS 통신 로그 및 운영상에 발생하는 Trouble 로그를 기록하는 GEM Driver를 포함하는 중앙 제어 서버; 상기 중앙 제어 서버와 연동된 중앙 관리자 기기; 및 상기 반도체 장비를 포함하며, 상기 복수의 ID는 적어도 상기 반도체 장비와 관련하여 발생하는 이벤트를 나타내는 제1 ID, 상기 반도체 장비의 파라미터를 나타내는 제2 ID, 상기 반도체 장비와 관련된 경고를 나타내는 제3 ID를 포함하며, 메시지 방향, 응답 여부를 포함하는 SECS 메시지 정보가 설정되고, 반도체 제조에 포함되는 공정 및 상기 반도체 장비의 특성에 따라 상기 SECS 메시지 정보가 재설정된 후, 상기 SECS Driver는, 상기 SECS 메시지 정보에 기초하여 상기 SECS 메시지를 구성하며, 상기 반도체 장비가 제대로 동작하는지 시뮬레이션을 적용하고 에러가 발생하는 경우 상기 SECS 메시지를 재구성하는 것을 특징으로 하는 제어관리 시스템을 제시한다.