출원번호 : 1020220187976 (2022.12.28)
등록번호 : 1020230101744 (2023.07.06)
요약 : 본 발명은 스테이지 마크를 이용한 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 비전 얼라인먼트 방법에 관한 것이다. 본 발명의 스테이지 마크를 이용한 비전 얼라인먼트 시스템은 일측에 제1 마크가 표시되고, 제2 마크가 표시된 대상체가 로딩되는 스테이지; 상기 대상체가 로딩된 상기 스테이지를 검사 영역으로 이송시키는 이송부; 상기 검사 영역으로 이송된 상기 스테이지를 촬영하여 상기 제1 마크와 상기 제2 마크를 포함하는 제1 영상 이미지를 획득하는 비전 카메라부; 상기 스테이지 상에 설치되고, 상기 스테이지의 위치를 보정하는 보정 제어부; 상기 제1 영상 이미지를 이용하여 상기 제1 마크의 제1 위치 정보 및 상기 제2 마크의 제2 위치 정보를 획득하는 위치 정보 획득부; 상기 제1 위치 정보가 기 설정된 기준 위치 정보와 상이한 경우, 상기 제1 위치 정보와 상기 기준 위치 정보 간의 제1 차이 값을 산출하는 위치 차이 산출부; 상기 제1 차이 값을 이용하여 상기 대상체의 위치가 보정되도록 상기 위치 보정부를 제어하는 보정 제어부를 포함할 수 있다.
