출원번호 : 1020220189619 (2022.12.29)
등록번호 : 1025011380000 (2023.02.14)
요약 : 본 발명은 분사 노즐 장치에 관한 것이다. 본 발명의 분사 노즐 장치는 플라즈마를 분사하는 제1 분사구를 갖는 제1 노즐; 상기 제1 노즐과 이격되고, 상기 제1 노즐에서 분사된 플라즈마가 통과하는 적어도 하나의 제2 분사구를 포함하는 제2 노즐; 상기 제2 노즐과 이격되고, 상기 제1 노즐과 결합되는 결합 부재; 및 상기 제2 노즐과 상기 결합 부재를 연결하는 적어도 하나의 연결 부재를 포함하고, 상기 제2 노즐은 상기 제2 분사구 내로 증착 재료를 주입하는 적어도 하나의 주입 유로를 포함할 수 있다.
